能谱仪(eds,energy dispersive spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析,配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。
原理
各种元素具有自己的x射线特征波长,特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△e,能谱仪就是利用不同元素x射线光子特征能量不同这一 特点来进行成分分析的。
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